每次PM周期到来，新品ESC的费用让您感到压力？还是对翻新品能否放心使用存有疑虑？
OHI Tech已为Lam Research Kiyo·Flex·Versys设备供应和翻新了数百件ESC，直接验证了哪种状态还可翻新、何时必须换新品的判断标准。本文分享这些标准。
结论：翻新ESC性能不输新品
经OHI Tech标准认证的翻新ESC，吸附力、绝缘电阻、颗粒指标均与新品一致，费用较新品有显著节省。
例外情况：陶瓷表面出现裂纹或气孔堵塞超过20%时无法翻新，必须更换新品。
约翰森-拉贝克型vs库仑型对比
| 项目 | 约翰森-拉贝克(J-R)型 | 库仑型 |
|---|---|---|
| 吸附原理 | 介电泄漏电流 | 纯静电力 |
| 施加电压 | 200~600V | 1~2kV |
| 吸附力 | 高（30~80 Torr） | 中等 |
| 脱附速度 | 略慢（残余电荷） | 快 |
| 主要设备 | Lam Kiyo、Flex、Versys | AMAT、TEL部分机型 |
| 陶瓷材料 | AlN、Al₂O₃（半导体特性） | Al₂O₃（绝缘体） |
各设备ESC规格
| 设备 | 类型 | 直径 | 主要特征 |
|---|---|---|---|
| Lam Kiyo | J-R | 300mm | 高密度等离子体，多种气孔图案 |
| Lam Flex | J-R | 300mm | 低压刻蚀，RF施加方式 |
| Lam Versys | J-R | 300mm | 小特征尺寸刻蚀，高选择比 |
| AMAT Centura | 库仑 | 200/300mm | 多层电极结构 |
| TEL Trias | J-R | 300mm | 高温工艺用AlN基板 |
OHI Tech翻新可行性判定标准
以下是OHI Tech实际用于判断能否翻新的标准。
可翻新条件（5项全部满足）：
- 表面粗糙度(Ra)：≤0.8μm
- 绝缘电阻：500V DC下≥10⁹Ω
- 吸附力：新品规格的80%以上
- 颗粒发生量：等级规格以内
- 表面裂纹/崩缺：无
- 陶瓷表面确认有裂纹或剥落
- 气孔堵塞≥20%
- 吸附力低于新品规格50%
翻新效果
经OHI Tech标准认证的翻新ESC，吸附力、绝缘电阻、颗粒指标均符合新品同等规格，且费用较新品有显著节省。具体供货案例详情可询问后提供。
常见问题 (FAQ)
Q1. 翻新ESC的质保期多长？ 质保期因产品状态和翻新范围而异，询问时详细告知。翻新后提供包含吸附力、绝缘电阻、颗粒数测量数据的性能报告。
Q2. 翻新需要多长时间？ 交货时间取决于产品状态和翻新范围，收到后进行状态诊断，根据诊断结果告知具体工期。
Q3. 除Kiyo、Flex、Versys以外的设备ESC也能供应吗？ 可以，AMAT、TEL等其他设备ESC均可供应。告知设备型号和ESC料号，我们将确认新品供应或翻新可行性。联系邮箱：jino.kim@ohitech.co.kr