泵突然宕机，整条产线停工。干式真空泵的预防维护一旦疏漏，非计划停机带来的损失极大。
OHI Tech供应并大修Edwards、Pfeiffer、Ebara干式真空泵，掌握了导致寿命缩短的反复故障模式。以下是维护清单。
结论：寿命缩短的首要原因是N₂吹扫不足
工艺副产物在泵内固化是最常见的早期故障原因。仅将N₂吹扫流量和时序与工艺配方同步，就能显著延长大修周期。
螺杆·爪式·罗茨泵对比
| 项目 | 螺杆型 | 爪式型 | 罗茨泵（增压） |
|---|---|---|---|
| 结构 | 螺旋转子啮合 | 爪形非接触旋转 | 8字形高速旋转 |
| 腐蚀性气体耐性 | 高 | 中 | 低 |
| 粉末处理 | 优秀 | 一般 | 不适合 |
| 高速抽气 | 中 | 优秀 | 最佳（增压用） |
| 独立使用 | 可 | 可 | 不可（需组合） |
| 主要用途 | CVD、ALD | 刻蚀 | 增压组合 |
各工艺最优干式真空泵选型
| 工艺 | 推荐配置 | 原因 |
|---|---|---|
| 刻蚀(Etch) | 爪式+罗茨增压 | 高速抽气，耐Cl₂/HBr腐蚀 |
| CVD/PECVD | 螺杆型 | 粉末和高温副产物处理 |
| 离子注入 | 螺杆型 | 洁净排气，接近超高真空 |
| 溅射(PVD) | 爪式型 | 金属蒸气处理 |
| ALD | 螺杆型 | 脉冲气体响应，精密压力控制 |
延长寿命2倍的维护清单
每日确认：
- 泵体温度（目标：60°C以下）
- 冷却水流量及温度（异常立即处理）
- N₂吹扫流量正常与否
- 排气管线堵塞（差压测量）
- 油雾过滤器饱和度（真空度下降常见原因）
- 振动·噪音变化（轴承磨损早期检测）
- 运行时间20,000~30,000小时
- 极限真空度下降10%以上
- 排气噪音较基准上升5dB以上
OHI Tech供货经验
通过Edwards、Pfeiffer、Ebara干式真空泵的供应与大修实践，我们反复确认N₂吹扫时序设置错误是早期故障的主要原因之一。具体供货案例详情可询问后提供。
常见问题 (FAQ)
Q1. 大修和买新泵哪个更划算？ 大修费用约为新泵的30~50%。若转子涂层和轴承状态良好，大修更经济。OHI Tech收到泵后即进行状态诊断，立即告知大修可行性。
Q2. 刻蚀工艺中泵为何频繁堵塞？ HBr、Cl₂等腐蚀性气体副产物冷却后以氯化物形式固化在泵内。预防措施：维持泵体加热温度80~100°C，并加强吹扫。
Q3. 除Edwards外的品牌也能供应和大修吗？ 可以，Pfeiffer、Ebara等主要品牌均可提供新品供应和大修服务。告知泵型号，我们将确认可行性。联系邮箱：jino.kim@ohitech.co.kr