产品与解决方案
探索来自可信赖合作伙伴的优质产品
ESC专业制造商官方供应合作伙伴 · OHI Tech韩国总代理
支撑半导体工艺的 静电卡盘。
静电卡盘（ESC）专业制造与维修——兼容Etch·CVD·Implant工艺及Lam·AMAT·TEL·Axcelis设备
ESC三大核心服务
ESC制造
Coating Type · Plate Type新品制造。支持客户定制规格设计。
ESC维修
基于20步标准作业规程的系统化维修。质量验证完成后出货。
特殊涂层
加热器粘接 · 板材粘接 · 热喷涂（Thermal Spray）。耐化学·耐磨损表面处理。
按设备型号的ESC兼容性
针对客户设备优化的Coating Type / Plate Type ESC——制造与维修专家
Lam Research — Kiyo · Flex · Versys
Lam Research
适用于Lam Research蚀刻设备（Kiyo、Flex、2300 Versys）及CVD设备的ESC。高精度表面处理与加热器粘接技术，保持设备最佳性能。
ESC型号系列
ESC结构与原理
静电卡盘（ESC）的7大核心组成部件及工作原理
ESC截面结构图
主体（Body）
ESC的基本结构中心部分，为整个装置提供稳定支撑。
加热器粘接层
将加热器与主体相连，确保加热器稳定附着。
加热器（Heater）
产生电磁场加热ESC表面，稳定晶圆固定并调节温度。
铝板（AL Plate）
铝制部件，提供稳定高效的导热性，优化ESC性能。
粘接（Bonding）
将表面各层结合的工艺，确保结合稳定性。
DC电极
施加电压时在表面产生电荷，是静电固定晶圆的关键。
基板（Plate）
晶圆安置的ESC表面，具有特殊表面处理和精密结构。
Type 01
Coating Type ESC
表面施加特殊涂层。提供强力固定和耐化学稳定性。主要用于表面处理（蚀刻）工艺。可通过热喷涂重涂修复。
Type 02
Plate Type ESC
以板材形式制造。广泛用于特定半导体行业。适用于CVD和离子注入工艺。可通过板材脱粘重粘修复。
20步标准维修流程
基于系统化作业标准——Plate Type · Coating Type双路径运营
第0步
产品入库
确认入库产品
第1步
损伤分析评估
分析损伤程度 · 确定Plate Type · 制定工艺计划
第2步
脱粘/剥涂
[Plate]释放粘接 [Coating]剥除旧涂层
第3步
粘接/热喷涂
[Plate]重新粘接 [Coating]施加新热喷涂层
第4步
产品加工
建立最优工艺条件的精密加工
第5步
图案形成
形成静电卡盘的功能性图案
第6步
产品清洗
彻底去除杂质和异物
第7步
检验评估
质量验证及标准合规性检查
第8步
包装出货
成品包装出货
标准作业流程图
경기도 화성시
制造商简介
成立于2016年，是韩国庆畿道华城市的静电卡盘（ESC）专业制造与维修企业。基于20步标准工艺，制造与维修用于半导体设备的Coating Type和Plate Type静电卡盘。公司成立9年，是韩国领先的ESC专业企业。
我们的使命
以高度精密性、品质可靠性和工艺系统性为基础，强化半导体产业核心部件竞争力，最大化客户设备性能与良率。
我们的愿景
超越韩国市场，拓展与全球半导体设备制造商的合作，成为世界级ESC专业企业。
公司信息
OHI Tech 合作关系
官方供应合作伙伴
OHI Tech为ESC专业制造商韩国官方供应合作伙伴。直接采购，最短交期，完整技术支持。
现场技术支持
OHI Tech工程师全程负责ESC规格选定、安装、维修委托及更换周期管理。
覆盖4大主流OEM设备
针对韩国主要晶圆厂Lam、AMAT、TEL、Axcelis四大主流设备，构建最优ESC供应体系。
快速维修周转
紧急维修请求优先处理，最小化停机时间，维持设备稼动率。