OHI Techの基準に合格した再生ESCは、新品と同等の吸着力・絶縁抵抗・パーティクルスペックを満たします。 セラミックのひび割れやガスホールの詰まりが20%以上でなければ、再生によってコストを大幅に削減できます。OHI TechはLam Research Kiyo・Flex・Versys装置用ESCを数百件供給・再生し、再生判定基準を直接検証しました。
結論: 再生ESCは新品と性能差がありません
OHI Techの基準に合格した再生ESCは、新品と比べて吸着力・絶縁抵抗・パーティクルのいずれも同等のスペックを満たします。新品より大幅に低いコストで交換の負担を軽減できます。
ただし、セラミック表面のひび割れやガスホールの詰まりが20%以上の場合は再生ができず、新品への交換が必要です。
Johnsen-Rahbek型 vs Coulomb型 ひと目で比較
| 項目 | Johnsen-Rahbek（J-R）型 | Coulomb型 |
|---|---|---|
| 吸着原理 | 誘電体漏れ電流を利用 | 純粋な静電気力 |
| 印加電圧 | 200〜600V | 1〜2kV |
| 吸着力 | 高い（30〜80 Torr） | 中程度 |
| 脱着速度 | やや遅い（残留電荷） | 速い |
| 主な適用 | Lam Kiyo、Flex、Versys | AMAT、TEL一部 |
| セラミック素材 | AlN、Al₂O₃（半導体特性） | Al₂O₃（絶縁体） |
装置別ESC規格まとめ
| 装置 | タイプ | 直径 | 主な特徴 |
|---|---|---|---|
| Lam Kiyo | J-R | 300mm | 高密度プラズマ、多様なガスホールパターン |
| Lam Flex | J-R | 300mm | 低圧エッチング、RF印加方式 |
| Lam Versys | J-R | 300mm | 微細フィーチャーエッチング、高選択比 |
| AMAT Centura | Coulomb | 200/300mm | 多層電極構造 |
| TEL Trias | J-R | 300mm | 高温工程用AlNベース |
OHI Tech ESC再生可否判定基準
OHI Techが実際に再生の可否を判断する際に適用する基準です。
再生可能条件（5項目すべてを満たす場合）:
- 表面粗さ(Ra): 0.8μm以下
- 絶縁抵抗: 10⁹Ω以上（500V DC印加）
- 吸着力: 新品規格の80%以上
- パーティクル発生量: クラス規格以内
- 表面のひび割れ・チッピング: なし
- セラミック表面のひび割れまたはスポーリングを確認
- ガスホールの詰まり20%以上
- 吸着力が新品の50%未満に低下
再生ESC導入の効果
OHI Techの再生基準に合格したESCは、吸着力・絶縁抵抗・パーティクル基準を新品と同等に満たします。新品と比べて大幅なコスト削減が可能で、具体的な納品事例はお問い合わせ時にご共有いたします。
よくある質問（FAQ）
Q1. 再生ESCの保証期間はどのくらいですか。 保証期間は製品の状態や再生範囲によって異なるため、お問い合わせ時にご案内いたします。再生後は吸着力・絶縁抵抗・パーティクルの性能測定データを含む結果報告書を提供します。
Q2. ESCの再生にはどのくらいの期間がかかりますか。 所要期間は製品の状態や再生範囲によって異なります。受領後の状態診断結果をもとにスケジュールをご案内いたします。
Q3. Kiyo、Flex、Versys以外の装置用ESCも供給可能ですか。 AMAT、TELなど他の装置用ESCも供給可能です。装置モデル名とESCパート番号をお知らせいただければ、新品供給または再生可否をご確認いたします。
ESCの再生可否確認や新品の見積もりが必要でしたら、パート番号と現在の状態の写真をお送りください。OHI Techエンジニアリングチームが迅速に確認いたします。jino.kim@ohitech.co.kr