静電チャック（ESC）
半導体装置部品からEV充電、熱管理、レーザー精密装置まで、信頼できるパートナー企業の高品質な製品を一か所でご覧いただけます
ESC専門メーカー公式供給パートナー · OHI Tech韓国総代理店
半導体プロセスを 支えるチャック。
静電チャック（ESC）専門製造・修理 — Etch・CVD・Implantプロセス Lam・AMAT・TEL・Axcelis設備対応
ESC 3大コアサービス
ESC製造
Coating Type・Plate Type静電チャックの新規製造。顧客仕様に合わせたカスタム設計にも対応します。
ESC修理
20段階の標準作業プロセスに基づく体系的な修理。品質検証の完了後に出荷します。
特殊コーティング
ヒーターボンディング · プレートボンディング · 溶射コーティング（Thermal Spray）。耐薬品性・耐摩耗性の表面処理。
設備別対応ESC
お客様の装置に最適化されたCoating Type / Plate Type ESC — 製造・修理の専門企業
Lam Research — Kiyo · Flex · Versys
Lam Research
Lam Research社のEtch装置（Kiyo、Flex、2300 Versys）およびCVD装置専用のESCです。高精度な表面処理とヒーターボンディング技術により、装置性能の最適な維持を実現します。
ESCモデルラインナップ
ESCの構造と原理
静電チャック（ESC）の7つの主要構成要素と作動原理
ESC断面構造図
Body
ESCの基本構造を成す中心部分。装置全体を安定的に支持します。
ヒーターボンディング層
ヒーターをボディに接合する層。ヒーターの安定した装着を保証します。
ヒーター（Heater）
電磁場を発生させてESC表面を加熱し、ウェハー温度を制御します。
ALプレート
アルミニウム素材により、安定的かつ効率的な熱伝導性を提供します。
ボンディング（Bonding）
表面の各層を接合する工程。結合の安定性を確保します。
DC電極
電圧印加時に電荷を発生させる部分。ウェハーの静電固定の要となります。
Plate
ウェハーが装着されるESC表面。特殊表面処理と精密構造を有します。
Type 01
Coating Type ESC
表面に特殊コーティングを施すタイプです。強力な固定力と耐薬品安定性を提供し、主に表面処理（Etch）プロセスに適用されます。溶射コーティング（Thermal Spray）による再コーティング修理が可能です。
Type 02
Plate Type ESC
プレート形状で製作するタイプです。特定の半導体産業で広く使用され、CVD・Implantプロセスに適しています。プレートのデボンディング後、再ボンディングによる修理が可能です。
20段階標準リペアプロセス
体系的な作業標準書に基づく — Plate Type・Coating Typeの二経路運用
0段階
製品入庫
入庫製品の確認・受付
1段階
損傷分析・評価
損傷程度の分析 · Plate Typeの判定 · 工程計画の策定
2段階
デボンディング / コーティング剥離
[Plate] プレートボンディングの解除 [Coating] 既存コーティングの剥離
3段階
ボンディング / 溶射コーティング
[Plate] プレートの再ボンディング [Coating] 新規溶射コーティングの実施
4段階
製品加工
最適なプロセス条件の構成
5段階
パターン形成
静電チャックの機能的パターン形成
6段階
製品洗浄
不純物・異物の完全除去
7段階
検証・評価
品質検証および標準適合確認
8段階
梱包・出荷
完成品の梱包・出荷
標準作業フロー図
京畿道華城市
ESCメーカーについて
2016年設立の静電チャック（ESC）専門製造・修理企業です。京畿道華城市の東灘産業団地に拠点を置き、半導体装置用ESCの20段階標準プロセスに基づき、Coating Type・Plate Type静電チャックを製造・修理しています。創業9年目の国内ESC専門企業です。
私たちの使命
高度な精密性・品質の信頼性・工程の体系性を基盤に半導体産業の中核部品の競争力を強化し、お客様の装置性能と歩留まりを最大化します。
私たちのビジョン
国内にとどまらずグローバルな半導体装置メーカーとのパートナーシップを拡大し、世界的なESC専門企業へと飛躍します。
会社情報
OHI Tech供給パートナーシップ
国内公式供給パートナー
ESC専門メーカーの韓国公式供給パートナー。メーカーからの直接調達、最短納期、万全の技術サポートを提供します。
現場技術サポート
ESC仕様の選定から設置、修理依頼、交換周期の管理までOHI Techエンジニアが専任で対応します。
4大OEM設備に対応
Lam・AMAT・TEL・Axcelisの国内主要半導体ファブ4大装置メーカーの設備に最適化されたESC供給体制。
迅速な修理対応
緊急修理依頼を優先処理。最小限のダウンタイムで装置稼働率を維持します。