OHI Tech 기준을 통과한 재생 ESC는 신품과 동일한 흡착력·절연 저항·파티클 스펙을 만족합니다. 세라믹 균열이나 가스홀 막힘 20% 이상이 아니라면 재생으로 비용을 크게 줄일 수 있습니다. OHI Tech는 Lam Research Kiyo·Flex·Versys 장비용 ESC를 수백 건 공급·재생하며 재생 판정 기준을 직접 검증했습니다.
결론: 재생 ESC, 신품과 성능 차이 없습니다
OHI Tech 기준을 통과한 재생 ESC는 신품 대비 흡착력·절연 저항·파티클 모두 동일 스펙을 만족합니다. 신품보다 상당히 낮은 비용으로 교체 부담을 줄일 수 있습니다.
단, 세라믹 표면 균열이나 가스홀 막힘 20% 이상인 경우에는 재생이 불가능하고 신품 교체가 필요합니다.
Johnsen-Rahbek형 vs Coulomb형 한눈에 비교
| 항목 | Johnsen-Rahbek (J-R)형 | Coulomb형 |
|---|---|---|
| 흡착 원리 | 유전체 누설전류 활용 | 순수 정전기력 |
| 인가 전압 | 200~600V | 1~2kV |
| 흡착력 | 높음 (30~80 Torr) | 중간 |
| 탈착 속도 | 다소 느림 (잔류 전하) | 빠름 |
| 주요 적용 | Lam Kiyo, Flex, Versys | AMAT, TEL 일부 |
| 세라믹 소재 | AlN, Al₂O₃ (반도체 특성) | Al₂O₃ (절연체) |
장비별 ESC 규격 요약
| 장비 | 타입 | 직경 | 주요 특징 |
|---|---|---|---|
| Lam Kiyo | J-R | 300mm | 고밀도 플라즈마, 다양한 가스홀 패턴 |
| Lam Flex | J-R | 300mm | 저압 식각, RF 인가 방식 |
| Lam Versys | J-R | 300mm | 소형 피처 식각, 고선택비 |
| AMAT Centura | Coulomb | 200/300mm | 다층 전극 구조 |
| TEL Trias | J-R | 300mm | 고온 공정용 AlN 기반 |
OHI Tech ESC 재생 가능 판정 기준
OHI Tech가 실제 재생 여부를 결정할 때 적용하는 기준입니다.
재생 가능 조건 (5가지 모두 충족 시):
- 표면 거칠기(Ra): 0.8μm 이하
- 절연 저항: 10⁹Ω 이상 (500V DC 인가)
- 흡착력: 신품 규격 대비 80% 이상
- 파티클 발생량: 클래스 규격 이내
- 표면 균열·칩핑: 없음
- 세라믹 표면 균열 또는 스폴링 확인
- 가스홀 막힘 20% 이상
- 흡착력 신품 대비 50% 미만 저하
재생 ESC 도입 효과
OHI Tech 재생 기준을 통과한 ESC는 흡착력·절연 저항·파티클 기준을 신품과 동일하게 충족합니다. 신품 대비 상당한 비용 절감이 가능하며, 구체적인 납품 사례는 문의 시 공유드립니다.
자주 묻는 질문 (FAQ)
Q1. 재생 ESC의 보증 기간은 얼마나 되나요? 보증 기간은 제품 상태 및 재생 범위에 따라 달라지므로 문의 시 안내드립니다. 재생 후 성능 측정 데이터(흡착력, 절연 저항, 파티클)와 함께 결과 보고서를 제공합니다.
Q2. ESC 재생까지 소요 기간은 얼마나 걸리나요? 소요 기간은 제품 상태 및 재생 범위에 따라 달라집니다. 수령 후 상태 진단 결과를 바탕으로 일정을 안내드립니다.
Q3. Kiyo, Flex, Versys 이외 장비용 ESC도 공급 가능한가요? AMAT, TEL, 기타 장비용 ESC도 공급 가능합니다. 장비 모델명과 ESC 파트 번호를 알려주시면 신품 공급 또는 재생 가능 여부를 확인해드립니다.
ESC 재생 가능 여부 확인이나 신품 견적이 필요하시면 파트 번호와 현재 상태 사진을 보내주세요. OHI Tech 엔지니어링팀이 빠르게 검토해드립니다. jino.kim@ohitech.co.kr