제품 & 솔루션
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ESC 전문 제조사 공식 공급 파트너 · OHI Tech
반도체 공정을 지탱하는 척.
정전척(ESC) 전문 제조·수리 — Etch·CVD·Implant 공정 Lam·AMAT·TEL·Axcelis 장비 대응
ESC 3대 핵심 서비스
ESC 제조
Coating Type · Plate Type 정전척 신규 제조. 고객 사양 맞춤 설계 지원.
ESC 수리
20단계 표준 작업프로세스 기반 체계적 리페어. 품질 검증 완료 후 출고.
특수 코팅
히터 본딩 · 플레이트 본딩 · 용사 코팅(Thermal Spray). 내화학·내마모 표면 처리.
장비별 호환 ESC
고객사 장비에 최적화된 Coating Type / Plate Type ESC — 제조 및 수리 전문
Lam Research — Kiyo · Flex · Versys
Lam Research
Lam Research Etch 장비(Kiyo, Flex, 2300 Versys) 및 CVD 장비 전용 ESC. 고정밀 표면 처리와 히터 본딩 기술로 장비 성능 최적화 유지.
ESC 모델 라인업
ESC 구조 및 원리
ESC(Electro-Static Chuck)의 7개 핵심 구성 요소와 작동 원리
ESC 단면 구조도
Body
ESC의 기본 구조를 이루는 중심 부분. 전체 장치를 안정적으로 지지.
히터 본딩층
히터를 바디에 결합시키는 층. 히터의 안정적 부착 보장.
히터 (Heater)
전자장을 생성해 ESC 표면을 가열. 웨이퍼 온도 조절 담당.
AL 플레이트
알루미늄 소재로 안정적이고 효율적인 열 전도성 제공.
본딩 (Bonding)
표면의 다양한 층을 결합하는 과정. 결합 안정성 확보.
DC 전극
전압 인가 시 전하를 발생시키는 부분. 웨이퍼 정전기 고정의 핵심.
Plate
웨이퍼가 안착되는 ESC 표면. 특수 표면 처리 및 정밀 구조.
Type 01
Coating Type ESC
표면에 특수 코팅을 적용하는 형태. 강력한 고정력과 내화학적 안정성 제공. 표면 처리 공정(Etch)에 주로 적용. 용사 코팅(Thermal Spray)으로 재코팅 수리 가능.
Type 02
Plate Type ESC
플레이트 형태로 제작. 특정 반도체 산업에서 광범위 사용. CVD·Implant 공정에 적합. 플레이트 디본딩 후 재본딩으로 수리 가능.
20단계 표준 리페어 프로세스
체계적 작업 표준서 기반 — Plate Type · Coating Type 이중 경로 운영
0단계
제품 입고
입고 제품 확인 및 접수
1단계
손상 분석 및 평가
손상 정도 분석 · Plate Type 결정 · 공정계획 수립
2단계
디본딩 / 코팅 박리
[Plate] 플레이트 본딩 해제 [Coating] 기존 코팅 박리
3단계
본딩 / 용사 코팅
[Plate] 플레이트 재본딩 [Coating] 신규 용사 코팅 적용
4단계
제품 가공
적정 공정 조건 구성
5단계
패턴 형성
정전척 기능적 패턴 형성
6단계
제품 세정
불순물 및 이물질 완전 제거
7단계
검증 및 평가
품질 검증 및 표준 부합 확인
8단계
포장 및 출고
완성 제품 포장 출고
표준 작업 흐름도
경기도 화성시
ESC 제조사 소개
2016년 설립된 정전척(ESC) 전문 제조·수리 기업입니다. 경기도 화성시 동탄산업단지에 위치하며, 반도체 장비용 ESC 20단계 표준 프로세스를 기반으로 Coating Type·Plate Type 정전척을 제조·수리합니다. 창립 9년차의 국내 ESC 전문 기업입니다.
우리의 사명
고도의 정밀성·품질의 신뢰성·공정의 체계성을 바탕으로 반도체 산업의 핵심 부품 경쟁력을 강화하고, 고객의 장비 성능과 수율을 극대화합니다.
우리의 비전
국내를 넘어 글로벌 반도체 장비 제조사와의 파트너십을 확장하여 세계적인 ESC 전문 기업으로 도약합니다.
회사 정보
OHI Tech 공급 파트너십
국내 공식 공급 파트너
ESC 전문 제조사 한국 공식 공급 파트너. 제조사 직접 소싱, 최단 납기, 기술 지원 완비.
현장 기술 지원
ESC 사양 선정부터 설치, 수리 의뢰, 교체 주기 관리까지 OHI Tech 엔지니어가 전담.
4대 OEM 장비 대응
Lam·AMAT·TEL·Axcelis 국내 주요 반도체 팹 4대 장비 제조사 장비에 최적화된 ESC 수급 체계.
빠른 수리 회전
긴급 수리 의뢰 우선 처리. 최소 다운타임으로 장비 가동률 유지.