드라이 공정(식각·증착)은 FOUP, 습식 세정(HF·황산)은 PFA 카세트, 팹 간 장거리 운송은 FOSB가 기본 선택 기준입니다. 공정 환경과 소재를 맞추지 않으면 파티클 오염과 소재 열화가 발생합니다. OHI Tech는 CK Plastics 공식 파트너로서 국내 주요 300mm 팹에 웨이퍼 캐리어를 공급하며 공정별 선택 실수를 직접 확인했습니다.
결론: 공정 환경에 따라 캐리어 소재가 달라집니다
드라이 공정(식각·증착)이라면 FOUP, 습식 세정(Wet Clean)이라면 PFA 카세트, 장거리 운송이라면 FOSB가 기본입니다.
화학약품 환경에서 일반 PC 재질 FOUP을 사용하면 소재 열화와 파티클 오염이 발생합니다. 공정 환경과 소재를 반드시 맞춰야 합니다.
웨이퍼 캐리어 종류별 비교
| 종류 | 밀폐 여부 | 주 용도 | 재질 | 호환 장비 |
|---|---|---|---|---|
| FOUP | 밀폐 | 300mm 드라이 공정 | PC+ABS | EFEM, AMHS |
| FOSB | 밀폐 | 팹 간 장거리 운송 | PC+ABS | 외부 운송 |
| SMIF Pod | 밀폐 | 200mm 레거시 라인 | PC | SMIF EFEM |
| PFA 카세트 | 오픈 | 습식 세정, HF 공정 | PFA | 습식 세정 장비 |
소재별 특성 — 화학 내성이 핵심입니다
| 소재 | 화학 내성 | 내열성 | 정전기 | 주요 적용 |
|---|---|---|---|---|
| PC (폴리카보네이트) | 중간 | 120°C | 대전 가능 | 표준 FOUP |
| PEEK | 높음 | 260°C | 낮음 | 고온 공정 |
| PFA (불소수지) | 매우 높음 | 260°C | 낮음 | HF·황산 환경 |
| ESD PC | 중간 | 120°C | 방전 처리 | 정전기 민감 공정 |
FOUP 선택 시 반드시 확인할 5가지
1. 도어 타입: 로봇 암 호환 여부 (Entegris, Shin-Etsu, CK Plastics 규격) 2. N₂ 퍼지 포트: 산화 방지가 필요한 공정이라면 필수 3. 슬롯 간격: 공정 장비 보트 핀 간격과 호환 확인 4. RFID 태그: 웨이퍼 추적(MES) 연동 여부 5. 세정 내구성: 재사용 횟수와 세정 방법
[이미지: FOUP_PFA카세트_FOSB_비교_사진]
CK Plastics FOUP — OHI Tech 공급 현황
OHI Tech는 CK Plastics 한국 공식 파트너입니다. FOUP, FOSB, 오픈 카세트 전 라인을 공급하며, 국내 주요 300mm 팹에서 검증된 제품입니다.
긴급 공급, 소량 주문 모두 대응 가능합니다. 현재 사용 중인 캐리어 모델명을 알려주시면 호환 가능 제품을 바로 안내해드립니다.
자주 묻는 질문 (FAQ)
Q1. FOUP과 FOSB의 차이가 무엇인가요? FOUP은 팹 내 장비 간 이송(AMHS, OHT)용 밀폐 캐리어이고, FOSB는 팹 간 장거리 운송을 위해 충격 흡수 패드와 강화된 잠금 구조를 추가한 버전입니다. 외관은 비슷하지만 FOSB가 더 견고합니다.
Q2. 200mm 레거시 장비를 아직 사용 중인데 어떤 캐리어가 맞나요? 200mm 라인은 SMIF Pod(표준) 또는 오픈 카세트(습식 공정)를 사용합니다. 장비 종류와 공정 조건을 알려주시면 적합한 제품을 안내해드립니다.
Q3. FOUP 세정 주기와 방법은 어떻게 되나요? 일반적으로 500~1,000사이클마다 IPA 또는 DI water 세정을 권장합니다. 세정 후 파티클 카운트 검사를 거쳐 재사용 여부를 결정합니다. OHI Tech에서 세정 절차 가이드를 제공합니다.
웨이퍼 캐리어 선택이나 긴급 공급이 필요하시면 현재 사용 중인 장비 환경을 알려주세요. jino.kim@ohitech.co.kr