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用于Etch、CVD、Implant工艺的静电卡盘制造与维修。兼容Lam、AMAT、TEL、Axcelis设备。
NEOPURE® 高纯度O-Ring、PAD、Valve，适用于半导体及显示器工艺。优异的耐化学性、耐热性。
半导体工艺用高性能干式泵。无油方式，洁净室环境优化。
半导体工艺用晶圆载体。无污染搬运与储存，精密洁净室环境对应。
