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用于Etch、CVD、Implant工艺的静电卡盘制造与维修。兼容Lam、AMAT、TEL、Axcelis设备。
半导体工艺用晶圆载体。无污染搬运与储存，精密洁净室环境对应。
MKS ASTRON·PARAGON·R*evolution 远程等离子体源(RPS)维修与大修。4大故障模式根本原因诊断，维修后提供COA报告。
