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Etch・CVD・Implant工程装置向け静電チャック製造・修理。Lam、AMAT、TEL、Axcelis装置に対応。
半導体プロセス向けウェハーキャリア。無汚染の搬送・保管、精密クリーンルーム環境に対応。
MKS ASTRON・PARAGON・R*evolution 遠隔プラズマソース(RPS)の修理・オーバーホール。4大Fail Modeの根本原因診断、修理後にCOA成績書を提供。
