RPS 수리·오버홀
반도체 장비 부품, EV 충전, 열관리, 레이저 정밀 장비까지 검증된 파트너사의 최고 품질 제품을 한곳에서 만나보세요
MKS 원격 플라즈마 소스(RPS) 수리·오버홀 전문 · OHI Tech
RPS 수리·오버홀, 다시 새것처럼.
MKS ASTRON · PARAGON · R*evolution 전 모델의 원격 플라즈마 소스(Remote Plasma Source)를 진단·수리·오버홀합니다. 수리 후 COA(Certificate of Analysis) 서비스 리포트를 함께 제공합니다.
RPS(Remote Plasma Source)란?
RPS(원격 플라즈마 소스)는 별도로 격리된 챔버에서 플라즈마를 생성한 뒤, 가이드된 이송 구간(Transport Region)을 통해 공정 챔버로 전달하는 장치입니다. 반도체 공정에서 챔버 세정과 PR(포토레지스트) 제거에 핵심적으로 사용됩니다.
RPS는 왜 사용되나요?
챔버 세정
반도체 공정에서 가스 증착은 웨이퍼뿐 아니라 챔버 내부 부품에도 원치 않는 증착을 남깁니다. 이 증착물이 쌓이면 챔버 오염으로 이어져 칩 결함의 원인이 됩니다. RPS로 주기적으로 플라즈마를 생성해 메인 챔버 내부를 세정하고, 잔류물을 제거해 공정 안정성을 유지합니다.
PR 제거 (Etch · Ashing · PR Strip)
Etch·Ashing·PR Strip 공정에서 웨이퍼 상의 포토레지스트(PR)를 제거하기 위해 RPS를 사용합니다. On-Wafer 공정에 최적화된 R*evolution 계열이 대표적입니다.
수리 대응 MKS 모델
MKS ASTRON·PARAGON·R*evolution 전 모델의 파트넘버를 대응합니다. 보유하신 장비 PN으로 문의해 주세요.
REVOLUTION R1 / R3 / R5
MKS R*evolution
On-Wafer (웨이퍼 있음)
대응 파트넘버 (All PNs)
우리가 잡는 4대 Fail Mode
OHI Tech는 증상만 보지 않고 근본 원인을 진단해 재발을 막습니다.
AC LINE · DC BUS Fail
AC 입력 / DC 버스 전압 이상은 대개 전력 소자 문제에서 발생합니다. Fuse BD·Power BD·Booster BD를 점검하고 불량 부품을 교체한 뒤 오버홀로 복구합니다.
Source Leak
장기 운전 후 소스 리크가 발생할 수 있습니다. 경험상 O-ring 식각 + Reactor 식각 이후 소스 리크 확률이 높으므로, O-ring과 Reactor의 식각 여부를 우선 확인합니다.
Ignition Fault
각 섹션 보드(B/D) 불량이 주원인이 될 수 있으며, 그 외 다양한 원인이 존재합니다. Block 또는 Quartz와 Reactor가 주된 원인입니다.
Particle Fail
Block 오염 또는 Quartz 오염이 원인입니다. 세정·교체로 파티클 발생을 억제합니다.
수리 후 COA 서비스 리포트 제공
모든 수리 완료 후 검사 성적서(Certificate of Analysis / Final Inspection & Service Report)를 함께 드립니다.
Leak Test
Water Leak Test · Vacuum Leak Test — 스펙 대비 리크율 검증
Anodizing Coating
Block 아노다이징 코팅 두께 검사 (Thickness)
Plasma Test
가스 유량별 RF Power 측정 (Ar · N₂ 등) — 스펙 대비 검증
Aging Test
장시간 에이징으로 안정성 확인 후 출하
주요 교체 대상 부품
왜 OHI Tech인가
MKS 전 모델 커버리지
ASTRON 2L·3L·6L·8L·15L·22L·30L, PARAGON, R*evolution까지 전 라인업의 파트넘버를 대응합니다.
근본 원인 진단
4대 Fail Mode를 증상이 아닌 원인 단위로 진단 — O-ring·Reactor 식각까지 확인해 재발을 막습니다.
COA 성적서 제공
Leak·Coating·Plasma·Aging 검사를 거친 서비스 리포트를 수리 결과와 함께 제공합니다.
신품 대비 비용 절감
오버홀로 신품에 준하는 성능을 회복하면서 교체 대비 비용과 리드타임을 줄입니다.
자주 묻는 질문
RPS 수리·오버홀에 대해 가장 많이 묻는 질문을 정리했습니다.
OHI Tech는 MKS 원격 플라즈마 소스(RPS) 전 모델을 수리·오버홀합니다. ASTRON TM/2L, ASTRON-I/3L, ASTRON-EX/6L·8L, ASTRON-HF/15L·22L, RPS 30L, PARAGON(AX7700·AX7710), R*evolution R1/R3/R5(AX7690·AX7695·AX7696 등)을 포함하며, AX7651·AX7657·AX7658·AX7670·AX7685·AX7645·AX7667 계열의 파트넘버에 대응합니다. 보유하신 장비 PN으로 문의해 주세요.