Question 1

可以委托维修静电卡盘（ESC）吗？

Accepted Answer

可以。OHI Tech是ESC专业制造商的韩国官方供应伙伴。通过20步标准流程为Lam Research（Kiyo·Flex·Versys）、Applied Materials（Centura·Vantage）、TEL（Tactras·Trias）、Axcelis（Purion·Optima）设备提供ESC维修及新品制造。

Question 2

FOUP可供应到什么尺寸？

Accepted Answer

OHI Tech通过CK Plastics（中勤實業）供应2英寸~12英寸全尺寸晶圆载体。300mm（12"）FOUP完全符合SEMI E47.1，兼容OHT/AGV自动化系统。备有25槽标准、13槽薄型、6槽超薄全系列。

Question 3

哪些ESC类型与Lam Research设备兼容？

Accepted Answer

OHI Tech供应兼容Lam Research Kiyo（介质刻蚀）、Flex（导体刻蚀）、2300 Versys、TCP、Coronus设备的静电卡盘（ESC）。提供涂层型与平板型。ESC维修或新品供应请联系OHI Tech。

Question 4

晶圆卡匣可以定制吗？

Accepted Answer

可以。CK Plastics支持非标准尺寸、特殊槽位配置及OEM生产，包括175mm等非标尺寸、6"→8"转换适配器等。OHI Tech将协商规格后告知最小起订量（MOQ）。

半导体O-Ring

半导体用O-Ring (NEOPURE®)