Question 1

정전척(ESC) 수리를 맡길 수 있나요?

Accepted Answer

네. OHI Tech는 ESC 전문 제조사의 한국 공식 공급 파트너입니다. Lam Research(Kiyo·Flex·Versys), Applied Materials(Centura·Vantage), TEL(Tactras·Trias), Axcelis(Purion·Optima) 장비용 ESC 수리 및 신규 제조를 20단계 표준 프로세스로 제공합니다.

Question 2

FOUP은 어떤 사이즈까지 공급 가능한가요?

Accepted Answer

OHI Tech는 CK Plastics(中勤實業)를 통해 2인치~12인치 전 사이즈 웨이퍼 캐리어를 공급합니다. 300mm(12") FOUP은 SEMI E47.1 완전 준수, OHT/AGV 자동화 시스템 호환. 25-slot 표준·13-slot 박막·6-slot 초박막 전 라인업 보유.

Question 3

What ESC types are compatible with Lam Research equipment?

Accepted Answer

OHI Tech supplies Electrostatic Chucks (ESC) compatible with Lam Research Kiyo (Dielectric Etch), Flex (Conductor Etch), 2300 Versys, TCP, and Coronus equipment. Both Coating Type and Plate Type are available. Contact OHI Tech for ESC repair or new supply requests.

Question 4

웨이퍼 카세트 커스텀 제작이 가능한가요?

Accepted Answer

네. CK Plastics는 비표준 사이즈, 특수 슬롯 구성, OEM 생산이 가능합니다. 175mm 등 비표준 사이즈, 6"→8" 변환 어댑터 등 커스텀 제작 가능. OHI Tech를 통해 사양 협의 후 최소 주문 수량(MOQ)을 안내해 드립니다.

제품 & 솔루션

반도체용 O-Ring (NEOPURE®)