产品与解决方案
探索来自可信赖合作伙伴的优质产品
通嘉科技 官方合作伙伴 · OHI Tech 韩国总代理
支撑世界的 真空技术。
干式真空泵 · 尾气处理 · 集成系统 — 半导体·显示·电池工艺的核心
PPACS — 通嘉科技五大差异化优势
Performance better
性能卓越 — 同级最强抽速与极限真空
Power lower
节能50% — GMR系列0.8kW vs 竞品1.6kW
Area smaller
占地减少30% — 小型化设计
Cost lower
TCO最优 — 降低采购、能源及维护成本
Safety better
SEMI S2·ETL·CE等国际安全认证齐全
产品系列
通嘉科技全系列产品——罗茨·爪式·涡轮干泵到洗涤器及集成系统
GLR Series — Roots Light-Duty
GLR系列
120 / 600 / 1,200 m³/h · 低噪音针对轻载工艺优化的罗茨干式真空泵。低噪音、低振动设计，适合洁净室安装。广泛应用于CVD、PVD、ALD等标准半导体工艺。
产品型号
行业真空解决方案
通嘉科技干式真空技术覆盖的主要行业领域
适用工艺: ETCH · CVD · PVD · ALD
半导体（逻辑/DRAM/NAND）
维持高真空、处理腐蚀性气体、降低能耗
GMR系列节能设计（0.8kW vs竞品1.6kW）大幅降低晶圆厂电力成本
SEMI S2·S6·S8国际安全认证齐全，满足全球主要晶圆厂设备准入要求
12,000小时以上连续运行记录，非计划停机最小化，保护晶圆良率
推荐型号
主要客户
通嘉科技 · Grand Hitek · 北京通嘉宏瑞科技有限公司
通嘉科技 / Grand Hitek 简介
通嘉科技（Grand Hitek，北京通嘉宏瑞科技有限公司）成立于2012年，是中国领先的干式真空泵专业企业。总部位于北京，在上海和西安设有研发基地，拥有100余名研发人员（含4名博士）。累计出货超30,000台，月产能2,000台，为中芯国际、京东方、宁德时代等全球顶级制造商提供半导体、显示、光伏及电池工艺干式真空解决方案。
我们的使命
通过PPACS五大差异化优势（性能、能耗、面积、成本、安全），引领全球半导体及先进制造业真空工艺创新，最大化客户制造竞争力。
我们的愿景
成为全球领先的干式真空解决方案企业，成为半导体、能源及氢能产业不可或缺的基础设施合作伙伴。
研发基地
认证资质
SEMI S2-0724
半导体设备安全标准
SEMI S6-0618
废气管理标准
SEMI S8-0218
人机工程标准
SEMI F47-0706
电压骤降抗扰性
ETL认证
北美电气安全认证
CE认证
欧洲安全与环保标准
ISO 9001
质量管理体系
ISO 14001
环境管理体系
全球主要客户
OHI Tech × 通嘉科技 合作关系
韩国独家代理
通嘉科技韩国官方总代理。直接采购，最短交期，完整技术支持。
专属工艺工程支持
OHI Tech工程师全程负责工艺分析、型号选定、安装及维护。
半导体工艺专业能力
覆盖ETCH、CVD、PVD、ALD全工艺真空解决方案经验，提供工艺专属型号推荐。
快速备件采购
主要易耗件及备件本地库存，紧急响应体系最小化停机时间。