ドライ真空ポンプ
半導体装置部品からEV充電、熱管理、レーザー精密装置まで、信頼できるパートナー企業の高品質な製品を一か所でご覧いただけます
通嘉科技 / Grand Hitek 公式パートナー · OHI Tech 韓国総代理
世界を支える 真空技術。
ドライ真空ポンプ · スクラバー · 統合システム — 半導体·ディスプレイ·バッテリー工程の中核
PPACS — Grand Hitek 5大差別化
Performance better
競合対比最高性能 — 同クラス最強の排気速度と極限真空を達成
Power lower
エネルギー50%削減 — GMRシリーズ0.8kW vs 競合1.6kW
Area smaller
小型化 — 従来のドライポンプ対比設置面積30%減
Cost lower
コスト削減 — TCO最適化、保守コストを最小化
Safety better
安全性強化 — SEMI S2·ETL·CEなど国際安全認証を完備
製品ポートフォリオ
Grand Hitek全製品群 — Roots·Claw·Turboドライポンプからスクラバー·統合システムまで
GLR Series — Roots Light-Duty
GLRシリーズ
120 / 600 / 1,200 m³/h · 低騒音軽負荷環境に最適化されたRootsドライ真空ポンプ。低騒音·低振動設計でクリーンルーム内設置に適合。CVD·PVD·ALDなど標準半導体工程に幅広く適用されます。
モデルラインアップ
産業別真空ソリューション
Grand Hitekドライ真空技術が適用される主要産業分野
適用工程: ETCH · CVD · PVD · ALD
半導体（Logic / DRAM / NAND）
高真空維持、腐食性ガス処理、エネルギーコスト削減
GMRシリーズの省エネ設計（0.8kW vs 競合1.6kW）でファブ全体の電力コストを大幅削減 — 半導体製造の原価競争力を強化
SEMI S2·S6·S8国際安全認証を完備 — 主要グローバルファブの装置導入資格要件を充足
12,000時間以上の連続運転実績で計画外ダウンタイムを最小化 — ウェハー歩留まりを保護
推奨モデル
主要顧客
通嘉科技 · Grand Hitek · 北京通嘉宏瑞科技有限公司
通嘉科技 / Grand Hitek 紹介
通嘉科技（Grand Hitek、北京通嘉宏瑞科技有限公司）は2012年設立の中国トップクラスのドライ真空ポンプ専門企業です。北京本社を中心に上海·西安のR&D拠点を運営し、100名以上のR&D人員（博士4名を含む）が半導体·FPD·太陽光·バッテリー工程向けのドライ真空ソリューションを研究·開発しています。累計出荷30,000台、月産2,000台の生産能力を保有し、SMIC·BOE·CATLなど世界トップクラスのメーカーに供給しています。
Our Mission
性能·エネルギー·小型化·コスト·安全性（PPACS）の5大差別化を通じ、グローバル半導体·先端産業の真空工程革新をリードし、顧客の製造競争力を最大化します。
Our Vision
世界最高のドライ真空ソリューション企業へと成長し、半導体·エネルギー·水素産業の中核インフラパートナーとなることを目指します。
R&D拠点
認証状況
SEMI S2-0724
半導体装置安全基準
SEMI S6-0618
排気ガス管理基準
SEMI S8-0218
人間工学基準
SEMI F47-0706
電圧降下耐性
ETL Listed
北米電気安全認証
CE Marking
欧州安全·環境基準
ISO 9001
品質マネジメントシステム
ISO 14001
環境マネジメントシステム
グローバル主要顧客
OHI Tech × Grand Hitek パートナーシップ
国内唯一の公式パートナー
Grand Hitek韓国公式総代理店。直接調達、最短納期、技術支援を完備。
専任技術エンジニアリング
工程分析からポンプ仕様選定、設置、保守までOHI Techエンジニアが専任支援します。
半導体工程の専門性
ETCH·CVD·PVD·ALD全工程にわたる真空ソリューション経験を保有。工程別最適モデルを提案します。
迅速な部品調達
主要消耗品·部品を現地在庫として保有。ダウンタイム最小化のための緊急対応体制を運用します。