제품 & 솔루션
파트너사들의 최고 품질 제품을 만나보세요
通嘉科技 / Grand Hitek 공식 파트너 · OHI Tech 한국 총판
세계를 지탱하는 진공 기술.
드라이 진공 펌프 · 스크러버 · 통합 시스템 — 반도체·디스플레이·배터리 공정의 핵심
PPACS — Grand Hitek 5대 차별화
Performance better
경쟁사 대비 최고 성능 — 동급 최강 배기 속도와 극한진공 달성
Power lower
에너지 50% 절감 — GMR 시리즈 0.8kW vs 경쟁사 1.6kW
Area smaller
소형화 — 기존 드라이 펌프 대비 설치 면적 30%↓
Cost lower
비용 절감 — TCO 최적화, 유지보수 비용 최소화
Safety better
안전성 강화 — SEMI S2·ETL·CE 등 국제 안전 인증 완비
제품 포트폴리오
Grand Hitek 전 제품군 — Roots·Claw·Turbo 드라이 펌프부터 스크러버·통합 시스템까지
GLR Series — Roots Light-Duty
GLR 시리즈
120 / 600 / 1,200 m³/h · 저소음경부하 환경에 최적화된 Roots 드라이 진공 펌프. 저소음·저진동 설계로 클린룸 내 설치에 적합. CVD·PVD·ALD 등 표준 반도체 공정에 광범위하게 적용.
모델 라인업
산업별 진공 솔루션
Grand Hitek 드라이 진공 기술이 적용되는 주요 산업 분야
적용 공정: ETCH · CVD · PVD · ALD
반도체 (Logic / DRAM / NAND)
고진공 유지, 부식성 가스 처리, 에너지 비용 절감
GMR 시리즈 에너지 절감 설계(0.8kW vs 경쟁사 1.6kW)로 팹 전체 전력비 대폭 절감 — 반도체 제조 원가 경쟁력 강화
SEMI S2·S6·S8 국제 안전 인증 완비 — 주요 글로벌 팹의 장비 도입 자격 요건 충족
12,000시간 이상 연속 운전 실적으로 계획되지 않은 다운타임 최소화 — 웨이퍼 수율 보호
권장 모델
주요 고객사
通嘉科技 · Grand Hitek · 北京通嘉宏瑞科技有限公司
通嘉科技 / Grand Hitek 소개
通嘉科技(Grand Hitek, 북경통가굉서기술유한공사)는 2012년 설립된 중국 최고 수준의 드라이 진공 펌프 전문 기업입니다. 베이징 본사를 중심으로 상하이·시안 R&D 기지를 운영하며, 100명 이상의 R&D 인력(박사 4명 포함)이 반도체·FPD·태양광·배터리 공정용 드라이 진공 솔루션을 연구·개발합니다. 누적 출하 30,000대, 월 생산 2,000대의 생산 능력을 보유하며, SMIC·BOE·CATL 등 세계 최고 수준의 제조사에 공급합니다.
Our Mission
성능·에너지·소형화·비용·안전(PPACS) 5대 차별화를 통해 글로벌 반도체·첨단산업의 진공 공정 혁신을 이끌며, 고객의 제조 경쟁력을 극대화합니다.
Our Vision
세계 최고의 드라이 진공 솔루션 기업으로 성장하여, 반도체·에너지·수소 산업의 핵심 인프라 파트너가 되겠습니다.
R&D 거점
인증 현황
SEMI S2-0724
반도체 장비 안전 기준
SEMI S6-0618
배기가스 관리 기준
SEMI S8-0218
인간공학 기준
SEMI F47-0706
전압 강하 내성
ETL Listed
북미 전기 안전 인증
CE Marking
유럽 안전·환경 기준
ISO 9001
품질경영 시스템
ISO 14001
환경경영 시스템
글로벌 주요 고객사
OHI Tech × Grand Hitek 파트너십
국내 유일 공식 파트너
Grand Hitek 한국 공식 총판. 직접 소싱, 최단 납기, 기술 지원 완비.
전담 기술 엔지니어링
공정 분석부터 펌프 사양 선정, 설치, 유지보수까지 OHI Tech 엔지니어가 전담 지원.
반도체 공정 전문성
ETCH·CVD·PVD·ALD 전 공정에 걸친 진공 솔루션 경험 보유. 공정별 최적 모델 추천.
빠른 부품 조달
주요 소모품·부품 현지 재고 보유. 다운타임 최소화를 위한 긴급 대응 체계 운영.