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Etch, CVD, Implant 공정 장비용 정전척 제조 및 수리. Lam, AMAT, TEL, Axcelis 장비 대응.
NEOPURE® 고순도 O-Ring, PAD, Valve. 반도체 및 디스플레이 공정 적용. 내화학성·내열성 우수, 파티클 최소화.
반도체 공정용 고성능 드라이 펌프. 오일프리 방식, 클린룸 환경 최적화.
반도체 공정용 웨이퍼 캐리어. 오염 없는 이송·보관, 정밀 클린룸 환경 대응.
