レーザー精密加工装置
半導体装置部品からEV充電、熱管理、レーザー精密装置まで、信頼できるパートナー企業の高品質な製品を一か所でご覧いただけます
レーザー精密加工装置専門・OHI Tech公式供給
Zero Heat. Maximum Precision.
ウォータージェットレーザー・微細加工・半導体貫通工程トータルソリューション
製品ポートフォリオ
全製品ラインナップ — ウォータージェットレーザー加工機から光学エンコーダーまで
Waterjet Laser Machine (LML)
ウォータージェットレーザー加工機
独自特許に基づくウォータージェットレーザー加工機です。水柱が全反射でレーザーをガイドし、熱影響部（HAZ）なしにSiC・ダイヤモンド・サファイアなど第3世代半導体材料を精密に切断・ドリリングします。
仕様 / モデル
Laser MicroJet（LML）技術
水がレーザーを導く革新 — HAZゼロ、無欠陥の精密加工
動作原理
高圧水流の生成
50–800 barの圧力でØ20–100 µmのノズルを通し、微細な水柱を形成します。
全反射レーザーガイディング
532 nmのパルスレーザーが水と空気の境界面での全反射（TIR）現象により、水柱内部で完全にガイドされます。
冷却と加工を同時に実施
水がレーザーを導くと同時に加工面をリアルタイムで冷却し、熱影響部（HAZ）を根本から遮断します。
無欠陥切断
平行な切断面、バリなし、粒子残留なし。作業距離5–50 mm、加工物厚さ0.01–30 mmに対応します。
HAZゼロ
水冷により熱影響部が完全になくなり、SiC・ダイヤモンドなど熱に敏感な素材も損傷なく加工できます。
平行切断面
従来レーザーに比べて直角に近い切断面を実現。高アスペクト比（キーフ幅20µm超）の加工が可能です。
バリなし
水中で切断が完了するため、金属バリ・破片・残留粒子のないクリーンな加工面が得られます。
曲線加工特許
独自特許（US 8,422,521 B2）により等エネルギーパルスとモーションを同期。不規則な曲線も精密に切断します。
従来レーザー vs Laser MicroJet
| 項目 | 従来レーザー | Laser MicroJet（LML） |
|---|---|---|
| 熱影響部（HAZ） | 発生 | なし |
| 切断面角度 | テーパー発生 | 直角（平行壁） |
| バリ | あり | なし |
| 残留粒子 | あり | なし（水冷除去） |
| 加工距離 | 短い | 5–50 mm |
| 曲線加工 | 困難 | 特許工程で対応 |
ウェハー貫通工程 — OHI Tech専用サービス
OHI TechはHT-WG-LC装置を活用し、お客様と共にウェハー貫通ホールドリリングサービスを実際に提供しています。他社では実現が難しい高精度な貫通工程を、韓国国内で直接手がけています。
TGV（Through-Glass Via）
光学ガラスICウェハーのガラス貫通ビア（TGV）ドリリング。熱影響なしに垂直貫通孔を実現します。
WBD（Wafer Based Drilling）
Si・SiC・GaN・サファイアウェハーの貫通孔加工。高アスペクト比、小径、平行壁の要求条件を満たします。
第3世代半導体特殊加工
SiC・GaNパワーデバイスウェハーの微細ドリリングおよび切断。従来のダイヤモンドブレードに比べチップ損傷ゼロを実現します。
工程協業
OHI Techのエンジニアがお客様の工程要件を直接分析し、装置メーカーと協力して最適な工程条件を導き出します。
業界別ソリューション
半導体からウェアラブルまで — レーザー精密技術の実際の適用分野
半導体・パワーデバイス
SiC・GaNパワーデバイスの超精密切断・ドリリング
メーカー紹介
1995年・台湾新竹・上場7611
1995年に台湾新竹サイエンスパークで設立された、レーザー光電子・精密機械分野で30年の実績を持つ専門企業です。台湾証券取引所上場企業として、レーザー微細加工・エンコーダスケール・産業用レーザーマーキングの3大事業を展開しています。
コアコンピタンス
レーザー光学・精密機械・モーション制御を垂直統合し、お客様専用のレーザー加工ソリューションを開発します。設計から量産までワンストップで支援します。
保有特許
US 8,422,521 B2 / US 8,710,401 B2 — 等エネルギーパルスとモーションの同期技術。曲線・不規則形状のウォータージェットレーザー切断において世界唯一の特許です。
認証・実績
Why OHI Tech
OHI Techは韓国公式総代理店として、装置導入から工程開発、保守までワンストップで支援します。
韓国国内唯一のウェハー貫通工程
OHI TechはHT-WG-LC装置により、お客様とウェハー貫通ホールドリリングを直接行います。
韓国公式総代理店
公式韓国代理店として、装置導入から工程最適化、アフターサービスまでワンストップで支援します。
LML技術コンサルティング
ウォータージェットレーザー加工の適合性評価、サンプルテスト、工程条件の最適化を提供します。
カスタム装置構成
3/4/5軸、レーザー出力、ノズルサイズなど、お客様の工程に合わせたカスタム構成に対応します。